100mm 4 coloj GaN sur Safiro Epi-tavola oblato Galionitruda epitaksa oblato
La kreskoprocezo de GaN blua LED kvantuma puto strukturo.Detala procezofluo estas kiel sekvas
(1) Alta temperaturo bakado, safira substrato unue estas varmigita al 1050℃ en hidrogena atmosfero, la celo estas purigi la substratan surfacon;
(2) Kiam la temperaturo de la substrato falas al 510℃, malalta temperaturo GaN/AlN bufrotavolo kun dikeco de 30nm estas deponita sur la surfaco de la safira substrato;
(3) Temperaturo altiĝas al 10 ℃, la reakcia gaso amoniako, trimetilgalio kaj silano estas injektitaj, respektive kontrolas la respondan fluan indicon, kaj la silicio-dopita N-tipa GaN de 4um dikeco kreskas;
(4) La reakcia gaso de trimetilaluminio kaj trimetilgaleo estis uzata por prepari silicio-dopatajn N-tipan A⒑ kontinentojn kun dikeco de 0,15um;
(5) 50nm Zn-dopita InGaN estis preparita per injekto de trimetilgalio, trimetilindio, dietilzinko kaj amoniako je temperaturo de 8O0℃ kaj kontrolante malsamajn flukvantojn respektive;
(6) La temperaturo estis pliigita al 1020℃, trimetilaluminio, trimetilgalio kaj bis (ciclopentadienil) magnezio estis injektitaj por prepari 0,15 um Mg dopitan P-tipan AlGaN kaj 0,5 um Mg dopitan P-tipan G sangoglukozon;
(7) Altkvalita P-tipa GaN Sibuyan-filmo estis akirita per recocido en nitrogena atmosfero je 700℃;
(8) Akvaforto sur la P-tipa G-staza surfaco por malkaŝi la N-tipan G-stazsurfacon;
(9) Forvaporiĝo de Ni/Au-kontaktaj platoj sur p-GaNI-surfaco, vaporiĝo de △/Al-kontaktaj platoj sur ll-GaN-surfaco por formi elektrodojn.
Specifoj
Ero | GaN-TCU-C100 | GaN-TCN-C100 |
Dimensioj | e 100 mm ± 0,1 mm | |
Dikeco | 4.5±0.5 um Povas esti personecigita | |
Orientiĝo | C-ebeno (0001) ± 0,5° | |
Kondukta Tipo | N-speco (Nedopita) | N-speco (Si-dopita) |
Rezistemo (300K) | < 0,5 Q・cm | < 0,05 Q・cm |
Koncentriĝo de portanta | < 5x1017cm-3 | > 1x1018cm-3 |
Movebleco | ~ 300 cm2/Vs | ~ 200 cm2/Vs |
Dislokiĝo Denso | Malpli ol 5x108cm-2(kalkulita de FWHMs de XRD) | |
Substrata strukturo | GaN sur Safiro (Normo: SSP-Opcio: DSP) | |
Uzebla Surfaco | > 90% | |
Pako | Pakita en purĉambra medio de klaso 100, en kasedoj de 25 pecoj aŭ unuoblaj ujoj, sub nitrogena atmosfero. |