100mm 4 coloj GaN sur Safiro Epi-tavola oblato Galio nitruro epitaksa oblato

(1) Alta temperaturo bakado, safira substrato unue estas varmigita al 1050℃ en hidrogena atmosfero, la celo estas purigi la substratan surfacon;

(2) Kiam la temperaturo de la substrato falas al 510℃, malalta temperaturo GaN/AlN bufrotavolo kun dikeco de 30nm estas deponita sur la surfaco de la safira substrato;

(3) Temperaturo altiĝas al 10 ℃, la reakcia gaso amoniako, trimetilgalio kaj silano estas injektitaj, respektive kontrolas la respondan fluan indicon, kaj la silicio-dopita N-tipa GaN de 4um dikeco kreskas;

(4) La reakcia gaso de trimetilaluminio kaj trimetilgaleo estis uzata por prepari silicio-dopatajn N-tipan A⒑ kontinentojn kun dikeco de 0,15um;

(5) 50nm Zn-dopita InGaN estis preparita per injekto de trimetilgalio, trimetilindio, dietilzinko kaj amoniako je temperaturo de 8O0℃ kaj kontrolante malsamajn flukvantojn respektive;

(6) La temperaturo estis pliigita al 1020℃, trimetilaluminio, trimetilgalio kaj bis (ciclopentadienil) magnezio estis injektitaj por prepari 0,15 um Mg dopitan P-tipan AlGaN kaj 0,5 um Mg dopitan P-tipan G sangoglukozon;

(7) Altkvalita P-tipa GaN Sibuyan-filmo estis akirita per recocido en nitrogena atmosfero je 700℃;

(8) Akvaforto sur la P-tipa G-staza surfaco por malkaŝi la N-tipan G-stazsurfacon;

(9) Forvaporiĝo de Ni/Au-kontaktaj platoj sur p-GaNI-surfaco, vaporiĝo de △/Al-kontaktaj platoj sur ll-GaN-surfaco por formi elektrodojn.