150mm 200mm 6 coloj 8 coloj GaN sur Silicia Epi-tavola oblato Galio nitruro epitaksa oblato
Metodo de fabrikado
La produktadprocezo implikas kreskigi GaN-tavolojn sur safira substrato uzante progresintajn teknikojn kiel ekzemple metal-organika kemia vapordemetado (MOCVD) aŭ molekula trabo epitaksio (MBE). La demetprocezo estas efektivigita sub kontrolitaj kondiĉoj por certigi altan kristalan kvaliton kaj unuforman filmon.
Aplikoj de 6 coloj GaN-On-Sapphire: 6-colaj safiraj substrataj blatoj estas vaste uzataj en mikroondaj komunikadoj, radarsistemoj, sendrata teknologio kaj optoelektroniko.
Iuj komunaj aplikoj inkluzivas
1. Rf-potenca amplifilo
2. LED-lumigado industrio
3. Sendrata reto komunika ekipaĵo
4. Elektronikaj aparatoj en alta temperatura medio
5. Optoelektronikaj aparatoj
Specifoj de produkto
- Grandeco: La diametro de la substrato estas 6 coloj (ĉirkaŭ 150 mm).
- Surfaca kvalito: La surfaco estis fajne polurita por provizi bonegan spegulan kvaliton.
- Dikeco: La dikeco de GaN-tavolo povas esti personecigita laŭ specifaj postuloj.
- Pakado: La substrato estas zorge pakita per kontraŭstatikaj materialoj por malhelpi damaĝon dum transportado.
- Poziciaj randoj: La substrato havas specifajn poziciajn randojn, kiuj faciligas vicigon kaj operacion dum aparato-preparado.
- Aliaj parametroj: Specifaj parametroj kiel maldikeco, resistiveco kaj dopa koncentriĝo povas esti ĝustigitaj laŭ klientpostuloj.
Kun siaj superaj materialaj propraĵoj kaj diversaj aplikoj, 6-colaj safiraj substratoblatoj estas fidinda elekto por la disvolviĝo de alt-efikecaj duonkonduktaĵoj en diversaj industrioj.
Substrato | 6” 1mm <111> p-tipa Si | 6” 1mm <111> p-tipa Si |
Epi ThickAvg | ~5um | ~7um |
Epi ThickUnif | <2% | <2% |
Pafarko | +/-45um | +/-45um |
Krakado | <5 mm | <5 mm |
Vertikala BV | >1000V | > 1400V |
HEMT Al% | 25-35% | 25-35% |
HEMT DikaAvg | 20-30nm | 20-30nm |
Insitu SiN Cap | 5-60nm | 5-60nm |
2DEG konc. | ~1013cm-2 | ~1013cm-2 |
Movebleco | ~2000 cm2/Vs (<2%) | ~2000 cm2/Vs (<2%) |
Rsh | <330ohm/kv (<2%) | <330ohm/kv (<2%) |