FZ CZ Si-plafono en stoko 12-cola silicia plafono Prime aŭ Test
Enkonduku vaflan skatolon
Poluritaj Oblatoj
Siliciaj platetoj estas speciale poluritaj ambaŭflanke por atingi spegulan surfacon. Superaj trajtoj kiel pureco kaj plateco difinas la plej bonajn karakterizaĵojn de ĉi tiu plateto.
Nedopitaj Siliciaj Obletoj
Ili ankaŭ estas konataj kiel internaj siliciaj obletoj. Ĉi tiu duonkonduktaĵo estas pura kristala formo de silicio sen la ĉeesto de iu ajn dopanto tra la tuta obleto, tiel igante ĝin ideala kaj perfekta duonkonduktaĵo.
Dopitaj Siliciaj Obletoj
N-tipa kaj P-tipa estas la du tipoj de dopitaj siliciaj obletoj.
N-tipaj dopitaj siliciaj oplatetoj enhavas arsenikon aŭ fosforon. Ĝi estas vaste uzata en la fabrikado de progresintaj CMOS-aparatoj.
Boro-dopitaj P-tipaj siliciaj obletoj. Plejparte, ĝi estas uzata por fari presitajn cirkvitojn aŭ fotolitografion.
Epitaksiaj Oblatetoj
Epitaksiaj obletoj estas konvenciaj obletoj uzataj por atingi surfacan integrecon. Epitaksiaj obletoj estas haveblaj en dikaj kaj maldikaj obletoj.
Plurtavolaj epitaksiaj oblatoj kaj dikaj epitaksiaj oblatoj ankaŭ estas uzataj por reguligi energikonsumon kaj potenckontrolon de aparatoj.
Maldikaj epitaksiaj oblatoj estas ofte uzataj en pli bonaj MOS-instrumentoj.
SOI-Oblatoj
Ĉi tiuj obleoj estas uzataj por elektre izoli fajnajn tavolojn de unu-kristala silicio de la tuta silicia oblato. SOI-oblatoj estas ofte uzataj en silicia fotoniko kaj alt-efikecaj RF-aplikoj. SOI-oblatoj ankaŭ estas uzataj por redukti parazitan aparatan kapacitancon en mikroelektronikaj aparatoj, kio helpas plibonigi la rendimenton.
Kial la fabrikado de vaflanoj estas malfacila?
12-colajn siliciajn obletojn estas tre malfacile tranĉeblaj rilate al rendimento. Kvankam silicio estas malmola, ĝi ankaŭ estas fragila. Malglataj areoj kreiĝas kiam segitaj obletaj randoj emas rompiĝi. Diamantaj diskoj estas uzataj por glatigi la obletajn randojn kaj forigi ajnan difekton. Post tranĉado, la obletoj facile rompiĝas ĉar ili nun havas akrajn randojn. Obletaj randoj estas dizajnitaj tiel, ke delikataj, akraj randoj estas eliminitaj kaj la ŝanco de glitado estas reduktita. Rezulte de la randformada operacio, la diametro de la obleto estas ĝustigita, la obleto estas rondigita (post tranĉado, la fortranĉita obleto estas ovala), kaj noĉoj aŭ orientitaj ebenoj estas faritaj aŭ mezuritaj.
Detala Diagramo


