6-colaj 150mm Siliciokarbidaj SiC-Obletoj 4H-N tipo por MOS aŭ SBD Produktado Esplorado kaj Imitaĵa grado
Aplikaj Kampoj
La 6-cola silicia karbida unukristala substrato ludas gravan rolon en multaj industrioj. Unue, ĝi estas vaste uzata en la duonkondukta industrio por la fabrikado de altpotencaj elektronikaj aparatoj kiel ekzemple potencotransistoroj, integraj cirkvitoj kaj potencomoduloj. Ĝia alta varmokondukteco kaj alt-temperatura rezisto ebligas pli bonan varmodisradiadon, rezultante en plibonigita efikeco kaj fidindeco. Due, siliciaj karbidaj obletoj estas esencaj en esplorkampoj por la disvolviĝo de novaj materialoj kaj aparatoj. Krome, la silicia karbida obleto trovas ampleksajn aplikojn en la kampo de optoelektroniko, inkluzive de la fabrikado de LED-oj kaj laserdiodoj.
Produktaj Specifoj
La 6-cola substrato el silicia karbido havas diametron de 6 coloj (proksimume 152.4 mm). La surfaca malglateco estas Ra < 0.5 nm, kaj la dikeco estas 600 ± 25 μm. La substrato povas esti adaptita kun aŭ N-tipa aŭ P-tipa konduktiveco, laŭ la bezonoj de la kliento. Krome, ĝi montras esceptan mekanikan stabilecon, kapablan elteni premon kaj vibradon.
Diametro | 150±2.0mm (6 coloj) | ||||
Dikeco | 350 μm ± 25 μm | ||||
Orientiĝo | Sur akso: <0001>±0.5° | Eksteraksa:4.0° direkte al 1120±0.5° | |||
Politipo | 4H | ||||
Rezistiveco (Ω·cm) | 4H-N | 0,015~0,028 Ω·cm/0,015~0,025ohm·cm | |||
4/6H-SI | >1E5 | ||||
Primara plata orientiĝo | {10-10}±5.0° | ||||
Primara plata longo (mm) | 47,5 mm ± 2,5 mm | ||||
Rando | Bevelaĵo | ||||
TTV/Arko/Varpo (um) | ≤15 /≤40 /≤60 | ||||
AFM-fronto (Si-vizaĝo) | Pola Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0.5 nm | |||||
LTV | ≤3μm (10mm*10mm) | ≤5μm (10mm*10mm) | ≤10μm (10mm*10mm) | ||
TTV | ≤5μm | ≤10μm | ≤15μm | ||
Oranĝa ŝelo/truoj/fendetoj/poluado/makuloj/strioj | Neniu | Neniu | Neniu | ||
enŝovoj | Neniu | Neniu | Neniu |
La 6-cola silicia karbido-unukristala substrato estas alt-efikeca materialo vaste uzata en la duonkonduktaĵa, esplora kaj optoelektronika industrioj. Ĝi ofertas bonegan varmokonduktecon, mekanikan stabilecon kaj alt-temperaturan reziston, igante ĝin taŭga por la fabrikado de alt-potencaj elektronikaj aparatoj kaj esplorado de novaj materialoj. Ni provizas diversajn specifojn kaj adaptajn eblojn por kontentigi diversajn klientajn postulojn.Kontaktu nin por pliaj detaloj pri siliciaj karbidaj obletoj!
Detala Diagramo

