Ultra-preciza SiC-aerportanta stadio

Ultra-preciza SiC-aerlagra scenejo Elstara bildo

Mallonga Priskribo:

Kun la kontinua evoluo de la semikonduktaĵa industrio, prilaboraj kaj inspektaj ekipaĵoj postulas ĉiam pli altan rendimenton. Bazante sur vasta sperto pri movregado kaj nanometra poziciigado, ni evoluigis planan H-tipan duaksan ultra-precizan aerlagro-scenejon.

Sendu retpoŝton al ni

Trajtoj

Detala Diagramo

Superrigardo

Realigita kun ceramika strukturo el finia-elementa optimumigo de silicia karbido (SiC) kaj kompensita aerlagroteknologio, la scenejo liveras elstaran precizecon, rigidecon kaj dinamikan respondon. Ĝi estas ideale taŭga por:

Semikonduktaĵa prilaborado kaj inspektado
Mikro/nanofabrikado kaj metrologio
Nanometra-skala muŝ-tondado kaj polurado
Alt-rapida preciza skanado

Ĉefaj Trajtoj

SiC-aerportanta gvidvojopor ultra-alta rigideco kaj precizeco
Alta dinamikorapido ĝis 1 m/s, akcelo ĝis 4 g, rapida sedimentiĝo
Duobla-movita gantra Y-aksocertigas altan ŝarĝokapaciton kaj stabilecon
Kodigilaj opciojoptika krado aŭ lasera interferometro
Poziciiga precizeco±0,15 μm;ripeteblo±75 nm
Optimumigita kablovojigopor pura dezajno kaj longdaŭra fidindeco
Personigeblaj agordojpor aplikaĵ-specifaj bezonoj

Ultra-preciza dezajno kaj rekta-movita, senkontakta arkitekturo

SiC Ceramika Kadro~5× la rigideco de aluminia alojo kaj ~5× pli malalta termika ekspansio, certigante altrapidan stabilecon kaj termikan fortikecon.
Kompensita AerportantaProprieta dezajno plibonigas rigidecon, ŝarĝokapaciton kaj moviĝstabilecon.
Dinamika ElfaroSubtenas rapidon de 1 m/s kaj akcelon de 4 g, ideale por alt-produktaj procezoj.
Senjunta IntegriĝoKongrua kun vibradaj izoligaj sistemoj, rotaciaj scenejoj, kliniĝaj moduloj kaj platformoj por manipulado de oblatoj.
Kablo-administradoKontrolita fleksoradiuso minimumigas streĉon por plilongigita servodaŭro.

Senkerna Lineara MotoroGlata moviĝo kun nula kroĉa forto.
Multmotora VeturiloŜarĝebena motorlokigo plibonigas rektecon, platecon kaj angulan precizecon.
Termika IzoladoMotoroj estas izolitaj de la sceneja strukturo; laŭvola aera aŭ akva malvarmigo por alt-ŝarĝaj cikloj.

Specifoj

Modelo	400-400	500-500	600-600
Aksoj	X (skanado) / Y (paŝo)	X (skanado) / Y (paŝo)	X (skanado) / Y (paŝo)
Vojaĝo (mm)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
Precizeco (μm)	±0.15	±0.2	±0.2
Ripeteblo (nm)	±75	±100	±100
Rezolucio (nm)	0.3	0.3	0.3
Maksimuma Rapido (m/s)	1	1	1
Akcelo (g)	4	4	4
Rekteco (μm)	±0.2	±0.3	±0.4
Stabileco (nm)	±5	±5	±5
Maksimuma Ŝarĝo (kg)	20	20	20
Tonalto/Ruliĝo/Devio (arksek)	±1	±1	±1

Testkondiĉoj:

Aerprovizo: pura, seka; rosopunkto ≤ 0°F; partikla filtrado ≤ 0.25 μm; aŭ 99.99% nitrogeno.
Precizeco mezurita 25 mm super la centro de la scenejo je 20±1 °C, 40–60% RH.

Aplikoj

Semikonduktaĵa litografio, inspektado, kaj oblato-manipulado
Mikro/nanofabrikado kaj preciza metrologio
Altnivela optika fabrikado kaj interferometrio
Aerospaco kaj progresinta scienca esplorado

Oftaj Demandoj - Siliciokarbida Aerportanta Stadio

1. Kio estas aerportanta stadio?

Aerportanta scenejo uzas maldikan tavolon de premizita aero inter la scenejo kaj la gvidvojo por provizisenproblema, seneluziĝa kaj ultra-glata moviĝoMale al konvenciaj mekanikaj lagroj, ĝi eliminas glitadon, liveras nanometran precizecon kaj subtenas longdaŭran fidindecon.

2. Kial uzi silician karbidon (SiC) por la sceneja strukturo?

Alta rigideco~5× tiu de aluminia alojo, minimumigante deformadon dum dinamika moviĝo.
Malalta termika ekspansio~5× pli malalta ol aluminio, konservante precizecon sub temperaturŝanĝiĝoj.
MalpezaPli malalta denseco kompare kun ŝtalo, ebligante altrapidan kaj alt-akcelan funkciadon.
Bonega stabilecoSupera malseketigado kaj rigideco por ultra-preciza poziciigado.

3. Ĉu la scenejo bezonas lubrikadon aŭ prizorgadon?

Neniu tradicia lubrikado estas bezonata, ĉar ekzistasneniu mekanika kontaktoRekomendita prizorgado inkluzivas:

Provizadopura, seka premaero aŭ nitrogeno
Perioda inspektado de filtriloj kaj sekigiloj
Monitorado de kabloj kaj malvarmigaj sistemoj

4. Kiuj estas la bezonoj pri aerprovizo?

Rosopunkto: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
Partikla filtrado: ≤ 0,25 μm
Pura, seka aero aŭ 99.99% pura nitrogeno
Stabila premo kun minimuma fluktuo

Pri Ni

XKH specialiĝas pri altteknologia disvolviĝo, produktado kaj vendado de speciala optika vitro kaj novaj kristalaj materialoj. Niaj produktoj servas optikan elektronikon, konsumelektronikon kaj la militistaron. Ni ofertas safirajn optikajn komponantojn, kovrilojn por poŝtelefonaj lensoj, ceramikaĵojn, LT, silician karbidan SIC, kvarcon kaj duonkonduktaĵajn kristalajn obleojn. Kun sperta sperto kaj pintnivela ekipaĵo, ni elstaras en nenorma produkto-prilaborado, celante esti gvida altteknologia entrepreno pri optoelektronikaj materialoj.