Siliciokarbida ceramika pleto-suĉujo Siliciokarbida ceramika tubo-provizo alttemperatura sinterizado laŭmenda prilaborado

Mallonga Priskribo:

Siliciokarbida ceramika pleto kaj siliciokarbidaj ceramikaj tuboj estas nemalhaveblaj alt-efikecaj materialoj en duonkonduktaĵa fabrikado. Siliciokarbida ceramika pleto estas ĉefe uzata en fiksa kaj portanta prilaborado de vaflaĵoj, por certigi stabilecon de alt-preciza procezo; Siliciokarbidaj ceramikaj tuboj estas vaste uzataj en alt-temperaturaj fornotuboj, difuzaj fornotuboj kaj aliaj scenaroj por elteni ekstremajn mediojn kaj konservi efikan termikan administradon. Ambaŭ baziĝas sur siliciokarbido kiel la kerna materialo, kiu fariĝis ŝlosila komponanto en la duonkonduktaĵa industrio pro siaj bonegaj fizikaj kaj kemiaj ecoj.


Produkta Detalo

Produktaj Etikedoj

Ĉefaj trajtoj:

1. Ceramika pleto el silicia karbido
- Alta malmoleco kaj eluziĝrezisto: la malmoleco estas proksima al diamanto, kaj povas elteni mekanikan eluziĝon en vafla prilaborado dum longa tempo.
- Alta varmokondukteco kaj malalta termika ekspansiokoeficiento: rapida varmodisradiado kaj dimensia stabileco, evitante deformadon kaŭzitan de termika streso.
- Alta plateco kaj surfaca finpoluro: La surfaca plateco estas ĝis mikrona nivelo, certigante plenan kontakton inter la oblato kaj la disko, reduktante poluadon kaj difekton.
Kemia stabileco: Forta korodrezisto, taŭga por malseka purigado kaj gravurado en semikonduktaĵa fabrikado.
2. Ceramika tubo el silicia karbido
- Alta temperaturrezisto: Ĝi povas funkcii en alta temperaturmedio super 1600 °C dum longa tempo, taŭga por duonkonduktaĵaj alttemperaturaj procezoj.
Bonega korodrezisto: rezistema al acidoj, alkaloj kaj diversaj kemiaj solviloj, taŭga por severaj procezaj medioj.
- Alta malmoleco kaj eluziĝrezisto: rezistas partiklan erozion kaj mekanikan eluziĝon, plilongigas servodaŭron.
- Alta varmokondukteco kaj malalta koeficiento de varmoekspansio: rapida varmokondukteco kaj dimensia stabileco, reduktante deformadon aŭ fendeton kaŭzitan de varmostreĉo.

Produkta Parametro:

Parametro de ceramika pleto de silicia karbido:

(Materiala eco) (Unuo) (ssic)
(SiC-enhavo)   (Pez)% >99
(Meza grengrandeco)   mikrono 4-10
(Denseco)   kg/dm³ >3.14
(Ŝajna poreco)   Vo1% <0.5
(Vickers-malmoleco) HV 0.5 GPa 28
*()
Fleksforto* (tri poentoj)
20ºC MPa 450
(Kunprema forto) 20ºC MPa 3900
(Elastika Modulo) 20ºC GPa 420
(Fraktura rezisteco)   MPa/m'% 3.5
(Vermika konduktiveco) 20°C W/(m*K) 160
(Rezistiveco) 20°C Ohm.cm 106-108

(Termika ekspansiokoeficiento)
a(RT**...80ºC) K-1*10-6 4.3

(Maksimuma funkcianta temperaturo)
  °C 1700

 

Parametro de ceramika tubo de silicia karbido:

Aĵoj Indekso
α-SIC 99% minimumo
Ŝajna Poreco 16% maksimume
Groca denseco 2,7 g/cm³ min
Fleksforto ĉe alta temperaturo 100 Mpa min
Koeficiento de Termika Ekspansio K-1 4.7x10 -6
Koeficiento de Termika Konduktiveco (1400ºC) 24 W/mk
Maks. Labora Temperaturo 1650ºC

 

Ĉefaj aplikoj:

1. Ceramika plato el silicia karbido
- Tranĉado kaj polurado de obleoj: servas kiel portanta platformo por certigi altan precizecon kaj stabilecon dum tranĉado kaj polurado.
- Litografia procezo: La oblato estas fiksita en la litografia maŝino por certigi altprecizan poziciigon dum eksponado.
- Kemia Mekanika Polurado (KMP): funkcias kiel subtena platformo por polurkusenetoj, provizante unuforman premon kaj varmodistribuon.
2. Ceramika tubo el silicia karbido
- Alta temperatura forntubo: uzata por alttemperatura ekipaĵo kiel difuzforno kaj oksidiĝa forno por porti oblatojn por alttemperatura proceztraktado.
- CVD/PVD-procezo: Kiel portanta tubo en la reakcia ĉambro, rezistema al altaj temperaturoj kaj korodaj gasoj.
- Akcesoraĵoj por duonkonduktaĵaj ekipaĵoj: por varmointerŝanĝiloj, gasduktoj, ktp., por plibonigi la termikan mastruman efikecon de ekipaĵoj.
XKH ofertas kompletan gamon da personecigitaj servoj por siliciaj karbidaj ceramikaj pletoj, suĉtasoj kaj siliciaj karbidaj ceramikaj tuboj. Siliciaj karbidaj ceramikaj pletoj kaj suĉtasoj, XKH povas esti personecigitaj laŭ klientaj postuloj de malsamaj grandecoj, formoj kaj surfacaj malglataĵoj, kaj subtenas specialan tegaĵan traktadon, plibonigas eluziĝreziston kaj korodreziston; Por siliciaj karbidaj ceramikaj tuboj, XKH povas personecigi diversajn internajn diametrojn, eksterajn diametrojn, longojn kaj kompleksajn strukturojn (kiel ekzemple formitajn tubojn aŭ porajn tubojn), kaj provizi poluradon, kontraŭoksidigajn tegaĵojn kaj aliajn surfacajn traktadajn procezojn. XKH certigas, ke klientoj povas plene utiligi la rendimentajn avantaĝojn de siliciaj karbidaj ceramikaj produktoj por plenumi la postulemajn postulojn de altkvalitaj fabrikadaj kampoj kiel duonkonduktaĵoj, LED-oj kaj fotovoltaiko.

Detala Diagramo

SIC ceramika pleto kaj tubo 6
SIC ceramika pleto kaj tubo 7
SIC ceramika pleto kaj tubo 8
SIC ceramika pleto kaj tubo 9

  • Antaŭa:
  • Sekva:

  • Skribu vian mesaĝon ĉi tie kaj sendu ĝin al ni