Silicia karbura ceramika pleto sucker silicia karbura ceramika tubo provizo alta temperaturo sinterigado kutimo prilaborado

Silicia karbura ceramika pleto -suĉilo silicia karbura ceramika tubo Provizanta altan temperaturon sinterinte kutiman pretigon prezentitan bildon

Mallonga Priskribo:

Silicia karbura ceramika pleto kaj silicia karburo ceramikaj tuboj estas nemalhaveblaj altfrekvencaj materialoj en duonkondukta fabrikado. Silicia karbura ceramika pleto estas uzata ĉefe en prilaborado de wafer fiksita kaj portanta, por certigi la stabilecon de altpreciza procezo; Silicio -karburaj ceramikaj tuboj estas vaste uzataj en altaj temperaturaj fornaj tuboj, disvastigaj fornaj tuboj kaj aliaj scenaroj por rezisti ekstremajn mediojn kaj konservi efikan termikan administradon. Ambaŭ baziĝas sur silicia karburo kiel la kerna materialo, kiu fariĝis ŝlosila ero en la duonkondukta industrio pro ĝiaj bonegaj fizikaj kaj kemiaj proprietoj.

Sendu retpoŝton al ni

Produkta Detalo

Produktaj Etikedoj

Ĉefaj ecoj:

1. Silicia karbura ceramika pleto
- Alta malmoleco kaj eluziĝo: La malmoleco estas proksima al diamanto, kaj povas rezisti mekanikan eluziĝon en wafer -prilaborado dum longa tempo.
- Alta termika konduktiveco kaj malalta termika ekspansia koeficiento: Rapida varmega disipado kaj dimensia stabileco, evitante deformadon kaŭzitan de termika streso.
- Alta ebenaĵo kaj surfaca finaĵo: La surfaca ebenaĵo estas ĝis la mikrona nivelo, certigante plenan kontakton inter la ondo kaj la disko, reduktante poluadon kaj damaĝon.
Kemia stabileco: Forta koroda rezisto, taŭga por malseka purigado kaj gravuraĵoj en fabrikado de duonkonduktaĵoj.
2. Silicia karbura ceramika tubo
- Alta temperaturo -rezisto: Ĝi povas funkcii en alta temperatura medio super 1600 ° C dum longa tempo, taŭga por duonkondukta alta temperaturprocezo.
Bonega koroda rezisto: imuna al acidoj, alkaloj kaj diversaj kemiaj solviloj, taŭgaj por severaj procezaj medioj.
- Alta malmoleco kaj eluziĝo: Rezistu erozion de partikloj kaj mekanikan eluziĝon, plilongigi servan vivon.
- Alta termika konduktiveco kaj malalta koeficiento de termika ekspansio: rapida kondukado de varmego kaj dimensia stabileco, reduktante deformadon aŭ krakadon kaŭzitan de termika streso.

Produkta Parametro ：

Silicia karbura ceramika pleto -parametro:

(Materiala posedaĵo)		(Unuo)	(SSIC)
(SIC -enhavo)		(Wt)%	> 99
(Averaĝa grengrandeco)		Mikrono	4-10
(Denseco)		KG/DM3	> 3.14
(Ŝajna poroseco)		VO1%	<0,5
(Vickers malmoleco)	HV 0,5	GPA	28
() Fleksebla forto (tri punktoj)	20ºC	MPA	450
(Kunprema forto)	20ºC	MPA	3900
(Elasta modulo)	20ºC	GPA	420
(Fraktura malmoleco)		MPA/M '%	3.5
(Termika konduktiveco)	20 ° ºC	W/(m*k)	160
(Rezistiveco)	20 ° ºC	Ohm.cm	106-108
(Termika ekspansia koeficiento)	A (RT ** ... 80ºC)	K-1*10-6	4.3
(Maksimuma funkcia temperaturo)		OºC	1700

Silicia karbura ceramika tubo Parametro:

Eroj	Indekso
α-sic	99% min
Ŝajna poroseco	16% maksimume
Pogranda denseco	2.7g/cm3 min
Fleksanta forto ĉe alta temperaturo	100 MPa min
Koeficiento de termika ekspansio	K -1 4.7x10 -6
Koeficiento de termika konduktiveco (1400ºC)	24 W/MK
Max. Laboranta Temperaturo	1650ºC

Ĉefaj Aplikoj:

1. Silicia karbura ceramika plato
- Wafer Cutting kaj Polishing: Servas kiel portanta platformo por certigi altan precizecon kaj stabilecon dum tranĉado kaj polurado.
- Litografia Procezo: La ondeto estas fiksita en la litografia maŝino por certigi altan precizan pozicion dum ekspozicio.
- Kemia mekanika polurado (CMP): funkcias kiel subtena platformo por polurado de kusenetoj, provizante unuforman premon kaj varman distribuon.
2. Silicia karbura ceramika tubo
- Alta temperaturo -forna tubo: Uzita por alta temperatura ekipaĵo kiel ekzemple disvastiga forno kaj oksida forno por porti vafojn por alta temperaturproceza kuracado.
- CVD/PVD -procezo: kiel portanta tubo en la reaga ĉambro, imuna al altaj temperaturoj kaj korodaj gasoj.
- Semikonduktaĵaj ekipaĵaj akcesoraĵoj: por varmaj interŝanĝiloj, gasoduktoj, ktp, por plibonigi la termikan administradan efikecon de ekipaĵo.
XKH ofertas plenan gamon da kutimaj servoj por siliciaj karbidaj ceramikaj pletoj, suĉaj tasoj kaj siliciaj karburaj ceramikaj tuboj. Siliciaj karburaj ceramikaj pletoj kaj suĉaj tasoj, XKH povas esti agordita laŭ klientaj postuloj de malsamaj grandecoj, formoj kaj surfaco krudeco, kaj subteni specialan revestiĝan traktadon, plibonigi eluzan reziston kaj korodan reziston; Por silikaj karburaj ceramikaj tuboj, XKH povas agordi varion de interna diametro, ekstera diametro, longo kaj kompleksa strukturo (kiel forma tubo aŭ pora tubo), kaj provizi poluradon, kontraŭ-oksidan revestiĝon kaj aliajn surfacajn traktadajn procezojn. XKH certigas, ke klientoj povas profiti plenajn agojn de la agadaj avantaĝoj de siliciaj karbidaj ceramikaj produktoj por plenumi la postulatajn postulojn de altnivelaj fabrikaj kampoj kiel duonkonduktaĵoj, LEDoj kaj fotovoltaiko.