Siliciokarbida Kantilevra Padelo (SiC Kantilevra Padelo)
Detala Diagramo
Produkta Superrigardo
La silicia karbida kantilevra padelo, fabrikita el alt-efikeca reakci-ligita silicia karbido (RBSiC), estas kritika komponanto uzata en ŝarĝaj kaj manipulaj sistemoj de oblatoj por semikonduktaĵaj kaj fotovoltaecaj aplikoj.
Kompare kun tradiciaj kvarcaj aŭ grafitaj padeloj, SiC-kantilevaj padeloj ofertas superan mekanikan forton, altan malmolecon, malaltan termikan ekspansion kaj elstaran korodreziston. Ili konservas bonegan strukturan stabilecon sub altaj temperaturoj, plenumante la striktajn postulojn de grandaj oblataj grandecoj, plilongigita servodaŭro kaj ekstreme malalta poluado.
Kun la kontinua evoluo de duonkonduktaĵaj procezoj direkte al pli grandaj oblataj diametroj, pli alta trairo kaj pli puraj prilaboraj medioj, SiC-kantilevaj padeloj iom post iom anstataŭigis konvenciajn materialojn, fariĝante la preferata elekto por difuzaj fornoj, LPCVD kaj rilata alt-temperatura ekipaĵo.
Produktaj Trajtoj
-
Bonega Stabileco je Alta Temperaturo
-
Funkcias fidinde je 1000–1300℃ sen deformado.
-
Maksimuma servotemperaturo ĝis 1380℃.
-
-
Alta Ŝarĝo-Portanta Kapacito
-
Fleksforto ĝis 250–280 MPa, multe pli alta ol kvarcaj padeloj.
-
Kapabla pritrakti grand-diametrajn oblatojn (300 mm kaj pli).
-
-
Plilongigita Servodaŭro kaj Malalta Bontenado
-
Malalta termika ekspansia koeficiento (4,5 × 10⁻⁶ K⁻¹), bone kongrua kun LPCVD-tegaĵmaterialoj.
-
Reduktas streĉ-induktitajn fendetojn kaj deskvamiĝon, signife plilongigante purigadon kaj prizorgadon.
-
-
Koroda Rezisto kaj Pureco
-
Bonega rezisto al acidoj kaj alkaloj.
-
Densa mikrostrukturo kun malferma poreco <0.1%, minimumigante partiklan generadon kaj malpuraĵan liberigon.
-
-
Aŭtomatigo-Kongrua Dezajno
-
Stabila transversa sekca geometrio kun alta dimensia precizeco.
-
Perfekte integriĝas kun robotaj sistemoj por ŝarĝi kaj malŝarĝi vaflajn, ebligante plene aŭtomatigitan produktadon.
-
Fizikaj kaj Kemiaj Ecoj
| Ero | Unuo | Datumoj |
|---|---|---|
| Maks. Servotemperaturo | ℃ | 1380 |
| Denseco | g/cm³ | 3.04 – 3.08 |
| Malferma Poreco | % | < 0.1 |
| Fleksanta Forto | MPa | 250 (20℃), 280 (1200℃) |
| Modulo de Elastiko | GPa | 330 (20℃), 300 (1200℃) |
| Termika Konduktiveco | W/m·K | 45 (1200℃) |
| Termika Ekspansia Koeficiento | K⁻¹×10⁻⁶ | 4.5 |
| Vickers-malmoleco | HV2 | ≥ 2100 |
| Acida/Alkala Rezisto | - | Bonega |
-
Normaj longoj:2378 milimetroj, 2550 milimetroj, 2660 milimetroj
-
Propraj dimensioj haveblaj laŭpete
Aplikoj
-
Semikondukta industrio
-
LPCVD (Malalta Premo Kemia Vapora Deponado)
-
Difuzaj procezoj (fosforo, boro, ktp.)
-
Termika oksidado
-
-
Fotovoltaika Industrio
-
Difuzo kaj tegaĵo de polisilicio kaj monokristala oblato
-
Alt-temperatura kalcinado kaj pasivigo
-
-
Aliaj Kampoj
-
Alt-temperaturaj korodaj medioj
-
Precizaj sistemoj por manipulado de oblatoj, kiuj postulas longan servodaŭron kaj malaltan poluadon
-
Klientaj Avantaĝoj
-
Reduktitaj Funkciigadaj Kostoj– Pli longa vivdaŭro kompare kun kvarcaj padeloj, minimumigante malfunkcitempon kaj anstataŭigan oftecon.
-
Pli alta rendimento– Ekstreme malalta poluado certigas purecon de la surfaco de la oblatoj kaj reduktas difektoftecon.
-
Estontec-pruva– Kongrua kun grandaj oblataj grandecoj kaj venontgeneraciaj duonkonduktaĵaj procezoj.
-
Plibonigita Produktiveco– Plene kongrua kun robotaj aŭtomatigaj sistemoj, subtenante altkvantan fabrikadon.
Oftaj Demandoj - Siliciokarbida Kantilevra Padelo
Q1: Kio estas silicia karbida kantilevra padelo?
A: Ĝi estas subtenilo kaj manipula komponento por silaboj farita el reakci-ligita silicia karbido (RBSiC). Ĝi estas vaste uzata en difuzaj fornoj, LPCVD, kaj aliaj alttemperaturaj duonkonduktaĵaj kaj fotovoltaikaj procezoj.
Q2: Kial elekti SiC anstataŭ kvarcajn padelojn?
A: Kompare kun kvarcaj padeloj, SiC-padeloj ofertas:
-
Pli alta mekanika forto kaj ŝarĝoportanta kapablo
-
Pli bona termika stabileco je temperaturoj ĝis 1380 ℃
-
Multe pli longa servodaŭro kaj reduktitaj bontenadcikloj
-
Pli malalta partikla generado kaj poluadrisko
-
Kongrueco kun pli grandaj oblataj grandecoj (300 mm kaj pli)
Q3: Kiujn grandecojn de oblatoj povas subteni la SiC-kantileva padelo?
A: Normaj padeloj haveblas por fornosistemoj de 2378 mm, 2550 mm kaj 2660 mm. Adaptitaj dimensioj haveblas por subteni oblatojn ĝis 300 mm kaj pli.
Pri Ni
XKH specialiĝas pri altteknologia disvolviĝo, produktado kaj vendado de speciala optika vitro kaj novaj kristalaj materialoj. Niaj produktoj servas optikan elektronikon, konsumelektronikon kaj la militistaron. Ni ofertas safirajn optikajn komponantojn, kovrilojn por poŝtelefonaj lensoj, ceramikaĵojn, LT, silician karbidan SIC, kvarcon kaj duonkonduktaĵajn kristalajn obleojn. Kun sperta sperto kaj pintnivela ekipaĵo, ni elstaras en nenorma produkto-prilaborado, celante esti gvida altteknologia entrepreno pri optoelektronikaj materialoj.
