SiC ceramika pleto telero grafito kun CVD SiC tegaĵo por ekipaĵo

Silicikarbura ceramikaĵo ne nur estas uzata en la fazo de deponaĵo de maldika filmo, kiel epitaksio aŭ MOCVD, aŭ en prilaborado de oblatoj, en kies koro la oblataj portantaj pletoj por MOCVD unue estas submetitaj al la demetmedio, kaj tial estas tre rezistemaj al varmego kaj korodo.SiC-tegitaj portantoj ankaŭ havas altan termikan konduktivecon kaj bonegajn termodistribuajn proprietojn.

Pure Chemical Vapor Deposition Silicon Carbide (CVD SiC) oblataj portantoj por alta temperaturo Metal Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) pretigo.

Puraj CVD SiC-oblaportiloj estas signife pli bonaj ol la konvenciaj oblatoj uzitaj en tiu procezo, kiuj estas grafito kaj kovritaj per tavolo de CVD SiC. ĉi tiuj kovritaj grafit-bazitaj aviad-kompanioj ne povas elteni la altajn temperaturojn (1100 ĝis 1200 celsiusgradoj) postulatajn por GaN-demetado de la hodiaŭa alta brileca blua kaj blanka gvidado. La altaj temperaturoj igas la tegaĵon evoluigi malgrandegajn truojn tra kiuj procezkemiaĵoj erozias la grafiton malsupre. La grafitpartikloj tiam disfaliĝas kaj poluas la GaN, igante la kovritan oblatan portanton esti anstataŭigita.

CVD SiC havas purecon de 99.999% aŭ pli kaj havas altan varmokonduktecon kaj termikan ŝokon reziston. Sekve, ĝi povas elteni la altajn temperaturojn kaj severajn mediojn de alta brila LED-fabrikado. Ĝi estas solida monolita materialo kiu atingas teorian densecon, produktas minimumajn partiklojn, kaj elmontras tre altan korodon kaj erozioreziston. La materialo povas ŝanĝi opakecon kaj konduktivecon sen enkonduki metalajn malpuraĵojn. Oblatoj havas tipe 17 colojn en diametro kaj povas teni ĝis 40 2-4 colojn.