Dia300x1.0mmt Dike Safiro Oblato C-Plane SSP/DSP
Enkonduko de oblato-skatolo
Kristalaj Materialoj | 99,999% de Al2O3, Alta Pureco, Monokristala, Al2O3 | |||
Kristala kvalito | Inkludaĵoj, blokmarkoj, ĝemeloj, Koloro, mikro-vezikoj kaj disvastigcentroj estas neekzistantaj | |||
Diametro | 2 coloj | 3 coloj | 4 coloj | 6 coloj ~ 12 coloj |
50.8± 0.1mm | 76.2±0.2mm | 100±0.3mm | Konforme al la dispozicioj de norma produktado | |
Dikeco | 430±15µm | 550±15µm | 650±20µm | Povas esti personecigita de kliento |
Orientiĝo | C-ebeno (0001) al M-ebeno (1-100) aŭ A-ebeno (1 1-2 0) 0,2±0,1° /0,3±0,1°, R-ebeno (1-1 0 2), A-ebeno (1 1-2 0 ), M-ebeno (1-1 0 0), Ajna Orientiĝo , Ajna angulo | |||
Primara plata longo | 16.0±1mm | 22.0±1.0mm | 32,5±1,5 mm | Konforme al la dispozicioj de norma produktado |
Primara plata Orientiĝo | A-ebeno (1 1-2 0 ) ± 0,2° | |||
TTV | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
LTV | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
TIR | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
ĈARKO | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
Varpi | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
Antaŭa Surfaco | Epi-Polurita (Ra< 0.2nm) |
*Arko: La devio de la centra punkto de la meza surfaco de libera, ne-krampita oblato de la referenca ebeno, kie la referenca ebeno estas difinita per la tri anguloj de egallatera triangulo.
* Varpo: La diferenco inter la maksimumaj kaj la minimumaj distancoj de la meza surfaco de libera, ne-krampita oblato de la referenca ebeno difinita supre.
Altkvalitaj produktoj kaj servoj por venontgeneraciaj duonkonduktaĵoj kaj epitaksia kresko:
Alta grado da plateco (kontrolita TTV, arko, varpo ktp.)
Altkvalita purigado (malalta partikla poluado, malalta metala poluado)
Substrata borado, kanelado, tranĉado kaj dorspoluro
Aldono de datumoj kiel pureco kaj formo de substrato (laŭvola)
Se vi bezonas safirajn substratojn, bonvolu kontakti:
poŝto:eric@xkh-semitech.com+86 158 0194 2596 /doris@xkh-semitech.com+86 187 0175 6522
Ni revenos al vi tuj!
Detala Diagramo
![vcs (2)](http://www.xkh-semitech.com/uploads/vcs-2.jpg)
![vcs (1)](http://www.xkh-semitech.com/uploads/vcs-1.jpg)