8-cola SiC Produktadgrada oblato 4H-N SiC substrato
La jena tabelo montras la specifojn de niaj 8-colaj SiC-plaketoj:
| 8-cola N-tipa SiC DSP-Specifoj | |||||
| Nombro | Ero | Unuo | Produktado | Esplorado | Imitaĵo |
| 1:parametroj | |||||
| 1.1 | politipo | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | surfaco-orientiĝo | ° | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 |
| 2: Elektra parametro | |||||
| 2.1 | dopanto | -- | n-tipa nitrogeno | n-tipa nitrogeno | n-tipa nitrogeno |
| 2.2 | rezisteco | omo ·cm | 0,015~0,025 | 0,01~0,03 | NA |
| 3: Mekanika parametro | |||||
| 3.1 | diametro | mm | 200±0.2 | 200±0.2 | 200±0.2 |
| 3.2 | dikeco | μm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | Noĉorientiĝo | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
| 3.4 | Noĉa Profundo | mm | 1~1.5 | 1~1.5 | 1~1.5 |
| 3.5 | LTV | μm | ≤5 (10mm * 10mm) | ≤5 (10mm * 10mm) | ≤10 (10mm * 10mm) |
| 3.6 | TTV | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | Arko | μm | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | Varpo | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | AFM | nm | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 |
| 4: Strukturo | |||||
| 4.1 | mikropipa denseco | ĉiu/cm² | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | metala enhavo | atomoj/cm² | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | ĉiu/cm² | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | BPD | ĉiu/cm² | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | TED | ĉiu/cm² | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. Antaŭa kvalito | |||||
| 5.1 | fronto | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | surfaco finpoluro | -- | Si-vizaĝa CMP | Si-vizaĝa CMP | Si-vizaĝa CMP |
| 5.3 | partiklo | ĉiu/oblato | ≤100 (grandeco ≥0.3μm) | NA | NA |
| 5.4 | gratvundo | ĉiu/oblato | ≤5, Totala Longo ≤200mm | NA | NA |
| 5.5 | Rando ĉipoj/indentoj/fendetoj/makuloj/poluado | -- | Neniu | Neniu | NA |
| 5.6 | Politipaj areoj | -- | Neniu | Areo ≤10% | Areo ≤30% |
| 5.7 | antaŭa markado | -- | Neniu | Neniu | Neniu |
| 6: Kvalito de la dorso | |||||
| 6.1 | malantaŭa finpoluro | -- | C-vizaĝa parlamentano | C-vizaĝa parlamentano | C-vizaĝa parlamentano |
| 6.2 | gratvundo | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | Malantaŭa difektoj rando ĉipoj/indentoj | -- | Neniu | Neniu | NA |
| 6.4 | Malglateco de la dorso | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6.5 | Malantaŭa markado | -- | Noĉo | Noĉo | Noĉo |
| 7:rando | |||||
| 7.1 | rando | -- | Bevelaĵo | Bevelaĵo | Bevelaĵo |
| 8: Pakaĵo | |||||
| 8.1 | pakaĵo | -- | Epi-preta kun vakuo pakaĵo | Epi-preta kun vakuo pakaĵo | Epi-preta kun vakuo pakaĵo |
| 8.2 | pakaĵo | -- | Mult-oblato kaseda enpakado | Mult-oblato kaseda enpakado | Mult-oblato kaseda enpakado |
Detala Diagramo
Skribu vian mesaĝon ĉi tie kaj sendu ĝin al ni