8inch SiC Produktado grada oblato 4H-N SiC substrato

Mallonga Priskribo:

8-colaj SiC-substratoj estas uzataj en alt-motoraj elektronikaj aparatoj, kiel potencaj MOSFEToj (Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistors), Schottky-diodoj kaj aliaj potencaj duonkonduktaj aparatoj.

Sendu retpoŝton al ni

Produkta Detalo

Produktaj Etikedoj

La sekva tabelo montras la specifojn de niaj 8 coloj SiC-oblatoj:

Specifoj de SiC DSP de 8 coloj
Numero	Ero	Unuo	Produktado	Esplorado	Dummy
1: parametroj
1.1	politipo	--	4H	4H	4H
1.2	surfaca orientiĝo	°	<11-20>4±0,5	<11-20>4±0,5	<11-20>4±0,5
2: Elektra parametro
2.1	dopanto	--	n-tipa Nitrogeno	n-tipa Nitrogeno	n-tipa Nitrogeno
2.2	resistiveco	ohm ·cm	0,015~0,025	0.01~0.03	NA
3: Mekanika parametro
3.1	diametro	mm	200±0,2	200±0,2	200±0,2
3.2	dikeco	μm	500±25	500±25	500±25
3.3	Noĉa orientiĝo	°	[1- 100]±5	[1- 100]±5	[1- 100]±5
3.4	Notch Profundo	mm	1~1.5	1~1.5	1~1.5
3.5	LTV	μm	≤5 (10mm * 10mm)	≤5 (10mm * 10mm)	≤10 (10mm * 10mm)
3.6	TTV	μm	≤10	≤10	≤15
3.7	Pafarko	μm	-25~25	-45~45	-65~65
3.8	Varpi	μm	≤30	≤50	≤70
3.9	AFM	nm	Ra≤0.2	Ra≤0.2	Ra≤0.2
4:Stukturo
4.1	mikropipa denseco	ea/cm2	≤2	≤10	≤50
4.2	metala enhavo	atomoj/cm2	≤1E11	≤1E11	NA
4.3	TSD	ea/cm2	≤500	≤1000	NA
4.4	BPD	ea/cm2	≤2000	≤5000	NA
4.5	TED	ea/cm2	≤7000	≤10000	NA
5.Fronta kvalito
5.1	fronto	--	Si	Si	Si
5.2	surfaca finaĵo	--	Si-vizaĝo CMP	Si-vizaĝo CMP	Si-vizaĝo CMP
5.3	partiklo	ea/oblato	≤100 (grandeco≥0.3μm)	NA	NA
5.4	grati	ea/oblato	≤5, Tuta Longo≤200mm	NA	NA
5.5	Rando blatoj/indentaĵoj/fendoj/makuloj/poluado	--	Neniu	Neniu	NA
5.6	Politipaj areoj	--	Neniu	Areo ≤10%	Areo ≤30%
5.7	antaŭa markado	--	Neniu	Neniu	Neniu
6: Malantaŭa kvalito
6.1	malantaŭa fini	--	C-vizaĝo MP	C-vizaĝo MP	C-vizaĝo MP
6.2	grati	mm	NA	NA	NA
6.3	Malantaŭaj difektoj rando blatoj/indentaĵoj	--	Neniu	Neniu	NA
6.4	Dorsa malglateco	nm	Ra≤5	Ra≤5	Ra≤5
6.5	Malantaŭa markado	--	Noĉo	Noĉo	Noĉo
7:rando
7.1	rando	--	Chanfro	Chanfro	Chanfro
8: Pako
8.1	pakado	--	Epi-preta kun vakuo pakado	Epi-preta kun vakuo pakado	Epi-preta kun vakuo pakado
8.2	pakado	--	Multoblato kaseda pakado	Multoblato kaseda pakado	Multoblato kaseda pakado