4-cola 6-cola litia niobato unu-kristala filmo LNOI-blato
La preparprocezo de LNOI-materialoj estas ĉefe dividita en la jenajn kvar paŝojn
(1) He-jonoj estis injektitaj en la X-tranĉitan litian niobatan materialon je certa energio, kaj enkondukitaj en la difektan tavolon je certa profundo sub la surfaca tavolo de litia niobato;
(2) La jon-enplantita litia niobata materialo estas ligita al silicia substrato per oksida tavolo por formi ligan strukturon;
(3) La ligstrukturo estis kalcinigita por ke la difektoj enkondukitaj per He-jona implantado evoluu kaj agreĝu por formi fendetojn. Fine, la litia niobato estis apartigita laŭlonge de la difekta tavolo por formi la restajn litiajn niobatajn tranĉaĵojn kaj LNOI-blatojn.
Aplikoj kaj avantaĝoj de LNOI-blato
1--Litiaj niobataj piezoelektraj filmoj (LNOI) havas altan piezoelektran koeficienton kaj dielektran konstanton, kiuj povas konverti mekanikan energion en elektran energion aŭ elektran energion en mekanikan energion. Tial, ili estas vaste uzataj en la kampo de sensiloj, kiel ekzemple premsensiloj, akcelsensiloj, temperatursensiloj kaj tiel plu. Krome, la litia niobata piezoelektra filmo ankaŭ povas esti uzata en akustikaj aparatoj kaj vibraj aparatoj, kiel ekzemple piezoelektraj ceramikaj transduktiloj, kompleksaj piezoelektraj ceramikaj filtriloj.
2- La stabileco de la litia niobata piezoelektra filmo estas ankaŭ unu el ĝiaj avantaĝoj. Pro ĝia kristalstruktura stabileco kaj kemia inerteco, la litia niobata piezoelektra filmo povas funkcii en altaj temperaturoj, alta humideco, fortaj acidoj, fortaj alkaloj kaj aliaj severaj medioj, kun bona korodrezisto kaj daŭreco.
3-Litia niobato piezoelektra filmo estas nova piezoelektra materialo kun bonega funkciado kaj stabileco, kaj havas vastan aplikaĵperspektivon. Kun la kontinua disvolviĝo de scienco kaj teknologio, litia niobato piezoelektra filmo estos aplikata en pli da urboj, alportante pli da komforto kaj novigado al la vivoj de homoj.
Detala Diagramo


