2-cola SiC-orbriko Dia50.8mmx10mmt 4H-N monokristala
SiC Kristala Kreska Teknologio
La karakterizaĵoj de SiC malfaciligas la kreskigon de unuopaj kristaloj. Ĉi tio ĉefe ŝuldiĝas al la fakto, ke ne ekzistas likva fazo kun stoiĥiometria proporcio de Si:C = 1:1 ĉe atmosfera premo, kaj ne eblas kreskigi SiC per la pli maturaj kreskometodoj, kiel la rekta tira metodo kaj la falanta krisolo-metodo, kiuj estas la ĉefaj apogoj de la duonkonduktaĵa industrio. Teorie, solvaĵo kun stoiĥiometria proporcio de Si:C = 1:1 povas esti akirita nur kiam la premo estas pli granda ol 10E5atm kaj la temperaturo estas pli alta ol 3200℃. Nuntempe, la ĉefaj metodoj inkluzivas la PVT-metodon, la likvafazan metodon, kaj la alttemperaturan vaporfazan kemian deponadmetodon.
La SiC-platetoj kaj kristaloj, kiujn ni provizas, estas ĉefe kreskigitaj per fizika vapora transporto (PVT), kaj jen mallonga enkonduko al PVT:
La metodo de fizika vaportransporto (PVT) originis de la gasfaza sublimacia tekniko inventita de Lely en 1955, en kiu SiC-pulvoro estas metita en grafitan tubon kaj varmigita ĝis alta temperaturo por malkomponi kaj sublimiĝi, kaj poste la grafita tubo estas malvarmigita, kaj la malkomponitaj gasfazaj komponantoj de la SiC-pulvoro estas deponitaj kaj kristaligitaj kiel SiC-kristaloj en la ĉirkaŭa areo de la grafita tubo. Kvankam per ĉi tiu metodo malfacilas akiri grandskalajn SiC-unuopajn kristalojn kaj la deponacia procezo ene de la grafita tubo estas malfacile kontrolebla, ĝi provizas ideojn por postaj esploristoj.
YM Tairov kaj aliaj en Rusio enkondukis la koncepton de semkristalo sur ĉi tiu bazo, kiu solvis la problemon de nekontrolebla kristala formo kaj nuklea pozicio de SiC-kristaloj. Postaj esploristoj daŭre plibonigis kaj fine evoluigis la fizikan vaportransigan (PVT) metodon, kiu estas uzata industrie hodiaŭ.
Kiel la plej frua SiC-kristala kreskometodo, PVT estas nuntempe la plej populara kreskometodo por SiC-kristaloj. Kompare kun aliaj metodoj, ĉi tiu metodo havas malaltajn postulojn por kreskoekipaĵo, simplan kreskoprocezon, fortan kontroleblecon, detalan disvolviĝon kaj esploradon, kaj jam estas industriigita.
Detala Diagramo
