Longtempa konstanta provizo de 8-cola SiC-avizo

Nuntempe, nia kompanio povas daŭre provizi malgrandan aron de 8inchN-tipo SiC-oblatoj, se vi havas specimenajn bezonojn, bonvolu kontakti min. Ni havas kelkajn specimenajn oblatojn pretajn por ekspedi.

Longtempa konstanta provizo de 8-cola SiC-avizo
Longtempa konstanta provizo de 8 coloj SiC-avizo1

En la kampo de semikonduktaĵoj, la kompanio faris gravan sukceson en la esplorado kaj disvolviĝo de grandgrandaj SiC-kristaloj. Uzante siajn proprajn semajn kristalojn post multoblaj rondoj de diametra pligrandigo, la kompanio sukcese kreskigis 8-colajn N-tipan SiC-kristalojn, kiuj solvas malfacilajn problemojn kiel neegala temperatura kampo, kristala krakado kaj gasfaza distribuo de krudmaterialoj en la kreska procezo de 8-colaj SIC-kristaloj, kaj akcelas la kreskon de grandgrandaj SIC-kristaloj kaj la aŭtonoman kaj kontroleblan prilaboradon. teknologio. Tre plibonigu la kernan konkurencivon de la kompanio en la industrio de SiC-unukristala substrato. Samtempe, la kompanio aktive antaŭenigas la amasiĝon de teknologio kaj procezo de grandgranda siliciokarbura substrata preparado de eksperimenta linio, plifortigas la teknikan interŝanĝon kaj industrian kunlaboron en kontraŭfluaj kaj laŭfluaj kampoj, kaj kunlaboras kun klientoj por konstante ripeti produktan rendimenton, kaj kune antaŭenigas la ritmon de industria apliko de siliciokarburaj materialoj.

Specifoj de SiC DSP de 8 coloj

Numero Ero Unuo Produktado Esplorado Dummy
1. Parametroj
1.1 politipo -- 4H 4H 4H
1.2 surfaca orientiĝo ° <11-20>4±0,5 <11-20>4±0,5 <11-20>4±0,5
2. Elektra parametro
2.1 dopanto -- n-tipa Nitrogeno n-tipa Nitrogeno n-tipa Nitrogeno
2.2 resistiveco ohm ·cm 0,015~0,025 0.01~0.03 NA
3. Mekanika parametro
3.1 diametro mm 200±0,2 200±0,2 200±0,2
3.2 dikeco μm 500±25 500±25 500±25
3.3 Noĉa orientiĝo ° [1- 100]±5 [1- 100]±5 [1- 100]±5
3.4 Notch Profundo mm 1~1.5 1~1.5 1~1.5
3.5 LTV μm ≤5 (10mm * 10mm) ≤5 (10mm * 10mm) ≤10 (10mm * 10mm)
3.6 TTV μm ≤10 ≤10 ≤15
3.7 Pafarko μm -25~25 -45~45 -65~65
3.8 Varpi μm ≤30 ≤50 ≤70
3.9 AFM nm Ra≤0.2 Ra≤0.2 Ra≤0.2
4. Strukturo
4.1 mikropipa denseco ea/cm2 ≤2 ≤10 ≤50
4.2 metala enhavo atomoj/cm2 ≤1E11 ≤1E11 NA
4.3 TSD ea/cm2 ≤500 ≤1000 NA
4.4 BPD ea/cm2 ≤2000 ≤5000 NA
4.5 TED ea/cm2 ≤7000 ≤10000 NA
5. Pozitiva kvalito
5.1 fronto -- Si Si Si
5.2 surfaca finaĵo -- Si-vizaĝo CMP Si-vizaĝo CMP Si-vizaĝo CMP
5.3 partiklo ea/oblato ≤100 (grandeco≥0.3μm) NA NA
5.4 grati ea/oblato ≤5, Tuta Longo≤200mm NA NA
5.5 Rando
blatoj/indentaĵoj/fendoj/makuloj/poluado
-- Neniu Neniu NA
5.6 Politipaj areoj -- Neniu Areo ≤10% Areo ≤30%
5.7 antaŭa markado -- Neniu Neniu Neniu
6. Malantaŭa kvalito
6.1 malantaŭa fini -- C-vizaĝo MP C-vizaĝo MP C-vizaĝo MP
6.2 grati mm NA NA NA
6.3 Malantaŭaj difektoj rando
blatoj/indentaĵoj
-- Neniu Neniu NA
6.4 Dorsa malglateco nm Ra≤5 Ra≤5 Ra≤5
6.5 Malantaŭa markado -- Noĉo Noĉo Noĉo
7. Rando
7.1 rando -- Chanfro Chanfro Chanfro
8. Pako
8.1 pakado -- Epi-preta kun vakuo
pakado
Epi-preta kun vakuo
pakado
Epi-preta kun vakuo
pakado
8.2 pakado -- Multoblato
kaseda pakado
Multoblato
kaseda pakado
Multoblato
kaseda pakado

Afiŝtempo: Apr-18-2023