Enhavtabelo
1. Superrigardo kaj Kernaj Funkcioj de FOUP
2. Strukturo kaj Dezajnaj Trajtoj de FOUP
3. Klasifiko kaj Aplikaj Gvidlinioj de FOUP
4. Operacioj kaj Graveco de FOUP en Duonkonduktaĵa Fabrikado
5. Teknikaj Defioj kaj Estontaj Evoluaj Tendencoj
6. Personecigitaj Solvoj kaj Servosubteno de XKH
En la procezo de fabrikado de duonkonduktaĵoj, la Front Opening Unified Pod (FOUP) estas kritika ujo uzata por protekti, transporti kaj stoki oblatojn. Ĝia interno povas gastigi 25 pecojn de 300mm oblatoj, kaj ĝiaj ĉefaj komponantoj inkluzivas front-malferman ujon kaj dediĉitan pordokadron por malfermi kaj fermi. La FOUP estas kerna portanto en la aŭtomata transportsistemo ene de 12-colaj oblataj fabrikoj. Ĝi estas tipe transportata en fermita stato kaj malfermiĝas nur kiam puŝita al la ŝarĝa pordo de la ekipaĵo, permesante ke la oblatoj estu translokigitaj en la ŝarĝan/malŝarĝan pordon de la ekipaĵo.
La dezajno de la FOUP estas adaptita al la postuloj de mikro-medio. Ĝi havas fendojn ĉe la malantaŭo por enmeto de sigeloj, kaj la kovrilo estas specife desegnita por kongrui kun la krampo de la malfermilo. Sigeloj-manipulaj robotoj funkcias en pura aera medio de Klaso 1, certigante, ke la sigeloj ne estas poluitaj dum transdono. Krome, la FOUP estas movita inter procezaj iloj per aŭtomatigita materialmanipula sistemo (AMHS). Modernaj sigeloj-fabrikoj plejparte uzas suprajn fervojajn sistemojn por transportado, dum kelkaj pli malnovaj fabrikoj povas uzi surterajn aŭtomatajn gviditajn veturilojn (AGV).
La FOUP ne nur ebligas aŭtomatan translokigon de oblatoj, sed ankaŭ servas stokadfunkcion. Pro la multaj fabrikadaj paŝoj, oblatoj povas bezoni monatojn por kompletigi la tutan procezfluon. Kombinite kun altaj ĉiumonataj produktadvolumoj, tio signifas, ke dekoj da miloj da oblatoj ene de fabriko estas konstante transportataj aŭ provizore stokitaj en iu ajn momento. Dum stokado, FOUP-oj estas periode purigitaj per nitrogeno por malhelpi poluaĵojn kontakti la oblatojn, certigante puran kaj fidindan produktadprocezon.
1. Funkcioj kaj Graveco de FOUP
La kerna funkcio de la FOUP estas protekti la oblatojn kontraŭ eksteraj ŝokoj kaj poluado, precipe evitante efikojn sur la rendimento dum translokigo. Ĝi efike malhelpas humidon per metodoj kiel gaspurigado kaj Loka Atmosfera Kontrolo (LAC), certigante ke la oblatoj restas en sekura stato atendante la sekvan fabrikadan paŝon. Ĝia hermetika kaj kontrolita sistemo permesas nur necesajn komponaĵojn kaj elementojn eniri, signife reduktante la malutilajn efikojn de VOC-oj, oksigeno kaj humideco sur la oblatojn.
Ĉar FOUP plene ŝarĝita per 25 obleoj povas pezi ĝis 9 kilogramojn, ĝia transportado devas dependi de Aŭtomata Materiala Manipula Sistemo (AMHS). Por faciligi tion, la FOUP estas desegnita kun diversaj kombinaĵoj de kunigaj platoj, stiftoj kaj truoj, kaj estas ekipita per RFID-elektronikaj etikedoj por facila identigo kaj klasifiko. Ĉi tiu aŭtomata manipulado postulas preskaŭ neniun manan operacion, multe reduktante erarajn indicojn kaj plibonigante la sekurecon kaj precizecon de la fabrikada procezo.
2. Strukturo kaj Klasifiko de FOUP
La tipaj dimensioj de FOUP estas proksimume 420 mm larĝa, 335 mm profunda, kaj 335 mm alta. Ĝiaj ĉefaj strukturaj komponantoj inkluzivas: supran OHT (fungokapo) por transporto per supra ŝarĝolevilo; antaŭan pordon por aliro al ekipaĵaj sigeloj; flankajn tenilojn, ofte kolorkodigitajn por distingi procezajn areojn kun malsamaj poluadniveloj; kartareon por meti mesaĝkartojn; kaj malsupran RFID-etikedon, kiu servas kiel unika identigilo por la FOUP, permesante al iloj kaj supraj ŝarĝoleviloj rekoni ĝin. La bazo ankaŭ estas ekipita per kvar identigaj kaj poziciigaj truoj por kongruigo kun iloj kaj distingado de procezaj areoj.
Surbaze de uzado, FOUP-oj estas klasifikitaj en tri tipojn: PRD (por produktado), ENG (por inĝenierado de oblatoj), kaj MON (por monitoraj oblatoj). PRD FOUP-oj povas esti uzataj por produkta fabrikado, ENG-tipoj taŭgas por esplorado kaj disvolvado aŭ eksperimentoj, kaj MON-tipoj estas dediĉitaj al procezmonitorado por paŝoj kiel CMP kaj DIFF. Gravas noti, ke PRD FOUP-oj povas esti uzataj por kaj ENG kaj MON-celoj, kaj ENG-tipoj povas esti uzataj por MON, sed la inversa operacio prezentas kvalitriskojn.
Klasifikitaj laŭ poluadnivelo, FOUP-oj povas esti dividitaj en FE FOUP (antaŭfina procezo, senmetala), BE FOUP (malantaŭfina procezo, enhavas metalon), kaj tiujn specialigitajn por specifaj metalprocezoj kiel NI FOUP, CU FOUP, kaj CO FOUP. FOUP-oj por malsamaj procezoj estas tipe distingitaj per la koloro de la flankaj teniloj aŭ pordopaneloj. FOUP-oj de antaŭaj procezoj povas esti uzataj en malantaŭfinaj procezoj, sed malantaŭfinaj FOUP-oj neniam devas esti uzataj en antaŭaj procezoj, ĉar tio kaŭzus poluadriskojn.
Kiel ŝlosila aviad-kompanio en semikonduktaĵa fabrikado, la FOUP, per alta aŭtomatigo kaj strikta poluadkontrolo, certigas la sekurecon kaj purecon de oblatoj dum la produktada procezo, igante ĝin nemalhavebla infrastrukturo en modernaj oblatofabrikoj.
Konkludo
XKH sin dediĉas al provizado al klientoj per tre personecigitaj solvoj kun Front-Opening Unified Pod (FOUP), strikte aliĝante al viaj specifaj procezaj postuloj kaj ekipaĵaj interfacaj specifoj. Utiligante progresintan materialan teknologion kaj precizajn fabrikadajn procezojn, ni certigas, ke ĉiu FOUP-produkto liveras esceptan hermetikecon, purecon kaj mekanikan stabilecon. Nia teknika teamo posedas profundan industrian sperton, ofertante ampleksan vivciklan subtenon - de elekta konsultado kaj struktura optimumigo ĝis purigado kaj bontenado - certigante senjuntan integriĝon kaj efikan kunlaboron inter la FOUP kaj via Aŭtomata Materiala Manipula Sistemo (AMHS) same kiel prilabora ekipaĵo. Ni konstante prioritatigas la sekurecon de obleoj kaj la plibonigon de produktada rendimento kiel niajn kernajn celojn. Per novigaj produktoj kaj ĉioampleksaj teknikaj servoj, ni provizas fortikan garantion por viaj semikonduktaĵaj fabrikadaj procezoj, finfine pliigante produktadan efikecon kaj produktan rendimenton.
Afiŝtempo: 8 septembro 2025